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      深圳市金徠技術有限公司

      ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.

       聯系電話:13538058187 

      等離子去膠機(灰化機)

      應用范圍:

      ? · 去除光刻膠

      · 晶圓打膠

      · 濕法刻蝕前的晶圓清潔

      · 去除 SU-8

      · 清潔和表面活化

      · 化學微量分析中的低溫材料灰化

      · 過濾器和濾膜的清潔

      · 環氧樹脂去除

      等離子去膠機是深圳金徠針對小體積產品,小批量生產和實驗室晶圓處理設計,適用于晶圓級和3D封裝應用的理想設備。等離子應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機污染去除等。


      產品規格



      型號

      JL-RR05

      JL-RR10

      JL-RR15

      高頻輸出功率

      500W

      500W

      1000W

      頻率

      13.56MHz

      13.56MHz

      13.56MHz

      檢測功能

      氣壓檢測、 門檢測

      氣壓檢測、 門檢測

      氣壓檢測、 門檢測

      真空泵

      干式真空泵

      干式真空泵

      干式真空泵

      氣體控制

      高精度質量流量計(MFM)

      高精度質量流量計(MFM)

      高精度質量流量計(MFM)

      質量流量計精度

      +/-0.2% F.S

      +/-0.2% F.S

      +/-0.2% F.S

      冷卻方式

      風冷

      風冷

      風冷

      反應腔

      石英 D160× 220 mm

      石英 D240× 260 mm

      石英 D240× 460 mm

      反應氣體

      路系統(可選)

      路系統(可選)

      路系統(可選)

      氣體流量

      0~300SCCM

      0~300SCCM

      0~500SCCM

      外形尺寸

      438× 520× 760mm

      438× 520× 760mm

      650× 650× 650mm

      重量

       60kg

       60kg

       70kg

      輸入電源

      單相 220V, 50/60Hz  8A

      單相 220V, 50/60Hz  8A

      單相 220V, 50/60Hz  8A


      應用范
       ? 去除光刻膠
       晶圓打膠
       濕法刻蝕前的晶圓清潔
       去除 SU-8
       清潔和表面活化
       化學微量分析中的低溫材料灰化
       過濾器和濾膜的清潔

      聯系方式



      詳情請撥打:135-3805-8187 電話咨詢 (微信同號)

      等離子去膠機(灰化機)
      應用范圍:

      ? · 去除光刻膠

      · 晶圓打膠

      · 濕法刻蝕前的晶圓清潔

      · 去除 SU-8

      · 清潔和表面活化

      · 化學微量分析中的低溫材料灰化

      · 過濾器和濾膜的清潔

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